M60 系列直線壓電馬達，內部采用 PZT 壓電式驅動，直線運動行程可選 25、50、100mm，可達亞納米級分辨率。可選配閉環伺服傳感器（增量式編碼器），具有更高的定位精度。可選移動臺面。

特點

• 大出力

• 閉環誤碰后自動歸位

• 上電自動找零位

• 可選光柵數字閉環

• 采用耐磨材料，真空無磁兼容

應用領域

• 工業級精度定位

• 半導體技術/測試

• 晶圓檢測

• 平版印刷

• 納米壓印

• 納米計量學

• 在強磁場和真空中運動

大出力
M60系列直線壓電馬達的主動推拉力可達50N，被動保持力達60N。并且，M60水平放置時，可承載10kg負載下進行高精度運動。

 增量式編碼器提高精度
M60可選配增量式編碼器作為閉環傳感器，可提高直線運動的精度。

 斷電自鎖、自動找零、自動歸位
M60后在斷電后具有自鎖功能，且再次上電時，會自動找零位。在使用中，若有誤碰情況，M60會自動調節歸位。

 耐磨材料

 M60直線壓電馬達采用高耐磨材料，壽命達千米以上。

 配套控制器

E71系列壓電控制器是專為驅動M60直線壓電馬達而設計，它是由上位機數字控制，運動速度可調，采用逼進式到達目標位置的設定方式。

M60技術參數

型號：M60直線壓電馬達

運動自由度：X

集成傳感器類型：增量式編碼器

標稱行程范圍：25mm、50mm、100mm

速度上線：10mm/s

閉環分辨率：＜10nm

開環分辨率：＜0.1nm

推/拉力（主動）：50N

保持力（被動）：60N

工作溫度：0~50℃

質量（包含電纜）：565g

材質：鋁，不銹鋼

電纜長度：1.5m