S38系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡為小體積的θx、θy二維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，具有非常小巧的外形結(jié)構(gòu)同時(shí)能夠帶動(dòng)鏡片快速響應(yīng)，提供頂端面的高精度角度運(yùn)動(dòng)，與其他執(zhí)行器相比，柔性鉸鏈導(dǎo)向的壓電偏轉(zhuǎn)平臺(tái)可提供更高的加速度，使階躍響應(yīng)時(shí)間在亞毫秒范圍，可帶載小型鏡片做快速二維光路偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，是光路調(diào)整、激光掃描等應(yīng)用的理想選擇。

特性

· θx、θy 二維偏轉(zhuǎn)

· 可選行程1.5或3mrad

· 小體積，外徑僅20mm

· 高諧振頻率

高動(dòng)態(tài)、高穩(wěn)定性、閉環(huán)高精度

S38偏轉(zhuǎn)鏡結(jié)構(gòu)緊湊，內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊的高可靠性壓電促動(dòng)器，集成在柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)，提供了更好的性能及可靠性。在機(jī)械結(jié)構(gòu)的合適位置采用應(yīng)變傳感器來得到定位精度，同時(shí)他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號(hào)，傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優(yōu)質(zhì)的穩(wěn)定性。

開/閉環(huán)曲線

S38.T1開/閉環(huán)曲線。