干涉掃描中的中空式三維壓電偏轉鏡
S23.ZT1K系列壓電偏轉鏡為θx、θy偏轉/俯仰及Z軸升降臺,臺體中心通孔,產品體積小巧、結構緊湊,可以實現的偏轉范圍為1.5mrad, Z軸直線運動行程為10μm,產品為開環版本,具有非常高的分辨率及響應速度,是干涉掃描移相的理想選擇。
特點
• θx、θy 偏轉,Z 軸升降
• 中心通孔:?10mm
• Z向行程10μm
• 偏轉角度可達1.5mrad/軸
• 溫度穩定性高
應用
• 圖像處理與穩定
• 激光掃描/光束偏轉
• 主動及自適應光學
• 光學濾波器
• 光束穩定
中心通孔 高動態性
SS23.ZT1K壓電偏轉鏡為多軸俯仰升降臺,產品體積為?20×19.5mm, 可以實現θx、θy軸1.5mrad的偏轉,Z軸10μm的升降。具有非常高的分辨率及亞毫秒的響應速度,三角架結構設計具有很寬的使用溫度范圍。臺體中心帶有通孔,孔徑為?10mm,適用于透光應用,如光過濾等。
可配套鏡片轉接座
SS23.ZT1K可選擇配套鏡片轉接座,用于鏡片的安裝與固定。
技術參數
型號:S23.ZT1K
運動自由度: θx、θy、Z
θx、θy偏轉角度(0~120V):1.2mrad(≈240")
Z向直線行程(0~120V):8μm
θx、θy 偏轉角度(0~150V):1.5mrad(≈300")
Z向直線行程(0~150V):10μm
θx、θy偏轉分辨率:0.02μrad(<0.01")
Z 向位移分辨率:0.1nm
空載諧振頻率:θx6.9/θy6.9/Z16.5kHz
空載階躍時間:0.5ms
靜電容量:0.5μF/軸
材質:鋼
重量:80g
推薦控制器
SS23.ZT1K壓電偏轉鏡為θx、θy偏轉及Z軸升降開環運動機構,可配套芯明天三通道E70.C3K開環壓電控制器,實現精密運動控制。