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    干涉掃描中的中空式三維壓電偏轉鏡

    更新時間: 2021-08-16

    S23.ZT1K系列壓電偏轉鏡為θx、θy偏轉/俯仰及Z軸升降臺,臺體中心通孔,產品體積小巧、結構緊湊,可以實現的偏轉范圍為1.5mrad, Z軸直線運動行程為10μm,產品為開環版本,具有非常高的分辨率及響應速度,是干涉掃描移相的理想選擇

     

    特點

    • θx、θy 偏轉,Z 軸升降

    • 中心通孔:?10mm

    • Z向行程10μm

    • 偏轉角度可達1.5mrad/軸

    • 溫度穩定性高

     

    應用

    • 圖像處理與穩定

    • 激光掃描/光束偏轉

    • 主動及自適應光學

    • 光學濾波器

    • 光束穩定

     

    中心通孔 高動態性 

    SS23.ZT1K壓電偏轉鏡為多軸俯仰升降臺,產品體積為?20×19.5mm, 可以實現θx、θy軸1.5mrad的偏轉,Z軸10μm的升降。具有非常高的分辨率及亞毫秒的響應速度,三角架結構設計具有很寬的使用溫度范圍。臺體中心帶有通孔,孔徑為?10mm,適用于透光應用,如光過濾等。

     

    可配套鏡片轉接座

    SS23.ZT1K可選擇配套鏡片轉接座,用于鏡片的安裝與固定。

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    技術參數

    型號S23.ZT1K

    運動自由度 θx、θy、Z

    θx、θy偏轉角度(0~120V)1.2mrad(≈240"

    Z向直線行程(0~120V)8μm

    θx、θy 偏轉角度(0~150V)1.5mrad(≈300"

    Z向直線行程(0~150V)10μm

    θx、θy偏轉分辨率0.02μrad(<0.01"

    Z 向位移分辨率0.1nm

    空載諧振頻率θx6.9/θy6.9/Z16.5kHz

    空載階躍時間0.5ms

    靜電容量0.5μF/軸

    材質

    重量80g

     

    推薦控制器

    SS23.ZT1K壓電偏轉鏡θx、θy偏轉及Z軸升降開環運動機構,可配套芯明天三通道E70.C3K開環壓電控制器,實現精密運動控制。

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