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WALK行走原理的XYZ三維直線壓電馬達！行程達100mm!

更新時間： 2022-10-20

N31系列直線壓電馬達是芯明天研發(fā)設(shè)計、生產(chǎn)及銷售的一款納米級精密運動產(chǎn)品。它具有三個行程范圍可選，分別為25mm、50mm和100mm。可選配高精度光柵增量式編碼器作為傳感器，完成高精度的運動定位。

N31系列直線壓電馬達是采用壓電陶瓷驅(qū)動，利用類似人行走的驅(qū)動原理，將壓電陶瓷的高頻微動的微小位移轉(zhuǎn)換為直線壓電馬達平臺的大行程、高精度運動。該系列直線壓電馬達具有大出力、閉環(huán)誤碰后自動歸位等優(yōu)點。

為滿足各種應(yīng)用中XYZ三維大行程、高精度位置調(diào)節(jié)的需求，芯明天基于N31系列直線壓電馬達專門設(shè)計了一款三維運動的大行程、高精度直線壓電馬達。它的外觀如下圖所示。

XYZ三維直線壓電馬達

該XYZ三維直線壓電馬達是基于三臺N31系列直線壓電馬達，XYZ三軸的行程分別為50mm、50mm、100mm。該產(chǎn)品經(jīng)過實測XYZ向的精度均在1μm以內(nèi)；運動速度可達4mm/s以上。

測試過程中，XYZ三維直線壓電馬達每軸的運動都是通過芯明天E71系列壓電伺服控制器進行驅(qū)動的，并通過配套上位機軟件進行控制參數(shù)設(shè)置。

XYZ三維直線壓電馬達平臺測試中

測試結(jié)果

下述測試結(jié)果是在0.5kg負載、20.8℃溫度、31%濕度下測得。

項目	X向	Y向	Z向
行程	±25mm	±25mm	±50mm
線性度	0.526μm	0.942μm	1.377μm
重復(fù)度	0.645μm	0.611μm	0.681μm
分辨率	40nm	40nm	40nm
運行速度	4.186mm/s	4.185mm/s	4.577mm/s

從上方參數(shù)中可看到，X、Y、Z向的運動重復(fù)度分別可達0.645μm、0.611μm、0.681μm，可滿足高精度的定位要求。運動效果如下方視頻展示。

注：1倍速播放

應(yīng)用

N31系列一至三維直線壓電馬達，因其高精度，非常適用于半導(dǎo)體測試、晶圓檢測、納米壓印、納米計量、工業(yè)精密定位等領(lǐng)域。

定制設(shè)計

若您有大行程、高精度的需求，歡迎致電我們，芯明天為您量身定制設(shè)計！

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