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    芯明天壓電納米探針臺

    更新時間: 2024-05-21

    芯明天壓電納米探針臺主要由壓電陶瓷作為驅(qū)動的壓電馬達(dá)和探針組成,在新材料、新能源、半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、基礎(chǔ)科研等前沿領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用,主要作用是完成納米級別物性測量以及納米級別運(yùn)動操作,可在三維空間上實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位。隨著分析儀器技術(shù)的高端化發(fā)展,以及不斷拓寬的應(yīng)用場景,壓電納米探針臺成為了分析儀器的重要組成部分。

    芯明天壓電納米探針臺的運(yùn)動形式是多樣化的,可任意選擇納米探針臺的運(yùn)動維度、運(yùn)動方向、運(yùn)動范圍、運(yùn)動精度、探針模組數(shù)量、探針夾具類型等。本次介紹一款具有中心探針平臺并搭配4個探針模組的納米探針臺系統(tǒng)。

    芯明天壓電納米探針臺

     

    芯明天壓電納米探針臺

    此款芯明天壓電納米探針臺具有中心探針臺,并搭配4個納米探針臺模組。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

     

    芯明天壓電納米探針臺

     

     

    中心探針臺,可進(jìn)行XYZ三軸運(yùn)動,XY向運(yùn)動行程≥20mm,Z向運(yùn)動行程≥20μm,可在低溫真空環(huán)境下使用,使用溫度范圍在0℃到60℃,使用真空度可達(dá)到10^-4Pa。四個探針模組可進(jìn)行XYZ直線及R旋轉(zhuǎn)運(yùn)動,XY方向行程≥5mm,Z向行程≥0.5mm,探針的R向旋轉(zhuǎn)達(dá)180°。

    芯明天壓電納米探針臺

    產(chǎn)品特點(diǎn)

     

     

     

    每個探針擁有7個運(yùn)動維度

    毫米運(yùn)動與微米運(yùn)動相結(jié)合

    毫米行程達(dá)≥20mm

    高精度可達(dá)≤2nm

    使用溫度范圍達(dá)0℃到60℃

    真空環(huán)境使用條件達(dá)10^-4Pa,可定制

    運(yùn)動軸、行程、速度、外形尺寸、固定接口等可定制

     

    產(chǎn)品應(yīng)用    

    半導(dǎo)體行業(yè)、電學(xué)性能測試分析、材料、新能源、物理學(xué)、生物醫(yī)學(xué)及其他等。 


    技術(shù)參數(shù)

    納米探針臺
    參數(shù)值
    運(yùn)動自由度
    X、Y、Z
    行程
    X、Y軸≥20mm,
    Z軸≥20μm
    速度
    10mm/s
    分辨率
    Z軸≤2nm
    納米探針模組
    參數(shù)值
    運(yùn)動自由度
    X、Y、Z三維直線及R軸旋轉(zhuǎn)
    行程
    X、Y軸≥5mm
    Z軸≥0.5mm
    R軸180°
    定位分辨率
    ≤100nm
    掃描分辨率
    ≤2nm
    工作環(huán)境
    參數(shù)值
    工作溫度
    0℃到60℃
    真空度
    10^-4Pa

     

    配套控制器        

     

    E53.D1E系列壓電控制器適用于驅(qū)動芯明天壓電納米探針臺。它是單通道壓電控制器,采用數(shù)字控制,可閉環(huán)伺服或開環(huán)控制,外觀體積非常小巧,尺寸僅為105×103×30.1mm^3,非常適配于尺寸緊湊的壓電納米探針臺。

    芯明天壓電納米探針臺

     

     

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