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    首頁 > 技術(shù)文章 > P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺，行程可達(dá)毫米！
    
    
    
      
    P60.Z1000系列一維壓電納米定位臺，行程可達(dá)毫米！
    
    
    
	
    更新時(shí)間： 2024-11-04 
    
    
    P60.Z1000系列壓電納米定位臺是一款具有大行程特點(diǎn)的一維Z向運(yùn)動壓電平臺。它的內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，配合無摩擦柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，利用機(jī)構(gòu)放大的驅(qū)動形式，實(shí)現(xiàn)大行程精密定位運(yùn)動，行程可高達(dá)1mm。它的負(fù)載可達(dá)1.5kg，在行程大的同時(shí)兼具了大負(fù)載的特點(diǎn)。該產(chǎn)品可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。可廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體、航空航天、生物醫(yī)療等領(lǐng)域。產(chǎn)品外觀如下圖所示。


    圖片

    產(chǎn)品特點(diǎn)
    Z向位移1000μm
    承載1.5kg
    毫秒級響應(yīng)時(shí)間
    閉環(huán)重復(fù)定位精度高
    可選閉環(huán)傳感器
    真空版本可選

    產(chǎn)品應(yīng)用
    光學(xué)測量
    光學(xué)檢測
    顯微掃描
    激光干涉
    生物科技
    納米操控技術(shù)
    納米光刻
    納米測量

    技術(shù)參數(shù)

    型號
    P60.Z1000S/K-C
    運(yùn)動方向
    Z
    驅(qū)動控制
    1路傳感/1路驅(qū)動
    標(biāo)稱行程范圍（0~120V）
    800µm
    Max.行程范圍（0~150V）
    1000µm
    傳感器類型
    SGS/-
    分辨率
    35nm/10nm
    閉環(huán)重復(fù)定位精度
    0.1%F.S./-
    空載諧振頻率
    80Hz
    承載能力
    水平安裝
    1.5kg
    立式安裝
    0.02kg
    倒置安裝
    0.05kg
    靜電容量
    72μF
    材質(zhì)
    鈦、鋁
    重量
    ＜1.3kg


    配套控制器
    E53.D系列壓電控制器非常適用于驅(qū)動P60.Z1000系列壓電納米定位臺。E53.D系列是針對小體積應(yīng)用要求而設(shè)計(jì)的單通道控制器，體積小巧，外形尺寸僅為148×27.5×80mm^3，重量為350g，供電電壓24VDC/1A。機(jī)身帶有散熱區(qū)域，可迅速導(dǎo)出產(chǎn)生的熱量，上位機(jī)軟件支持二次開發(fā)，體積小巧，易于集成。

    圖片


    
    
    
  
    

    




    
  
    
    
    
      
    
      
    
        
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