壓電移相器特性說明
產(chǎn)品特性
壓電移相器用于掃描、光學對準及鏡子移動裝置對準
10mm中空
壓電三腳設計
光束偏轉(zhuǎn)可達2.4mrad
活塞運動可達12μm（移相器）
亞毫秒響應，亞微弧度分辨率
用于光學，鏡片或其他部件
無摩擦，高精度彎曲導向系統(tǒng)
平行運動學擴展動態(tài)性及更好的多軸精度
壓電移相器內(nèi)部使用無摩擦及空回的柔性鉸鏈導向機構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電移相器具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級。專為高精度定位的光學系統(tǒng)應用而設計，超大的中空設計，方便應用于測量、干涉測量、白光干涉測量、納米定位掃描儀。分立的螺紋轉(zhuǎn)接器，可適配多種型號的物鏡。掃描臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不產(chǎn)生磁場同時也不受磁場的影響。
