產品名稱:N65XY芯明天直驅機構式壓電掃描臺
產品型號:
產品特點:N65XY芯明天直驅機構式壓電掃描臺,一體式結構設計原理,壓電陶瓷直驅機構,可實現8μm的掃描范圍,臺體高度僅為17mm,閉環版本具有超高的定位精度,適用于顯微掃描等應用。
更新日期:2021-03-23
N65XY芯明天直驅機構式壓電掃描臺,采用XY軸一體式結構設計壓電陶瓷直驅機構,中心具有通孔尺寸為25×27.5mm,產品體積小巧、性能穩定,N65系列掃描臺為開環版本、動態性好,適用于動態掃描應用領域。
N65壓電定位臺是基于光學掃描應用而開發設計的,具有較高的諧振頻率,采用小巧的結構設計,配以合適的透光孔,非常適合光學系統相關應用。
N65XY芯明天直驅機構式壓電掃描臺特性
• 二維XY向運動,zui大行程17μm/軸 • zui大承載0.2kg • 橢圓通孔尺寸為25×27.5mm
• 亞納米級分辨率 • 響應速度快
應用:
晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動聚焦檢測系統•顯微光學成像
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