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    產(chǎn)品名稱:芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺(tái)

    產(chǎn)品型號(hào):N50

    產(chǎn)品報(bào)價(jià):

    產(chǎn)品特點(diǎn):芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺(tái) N50系列為θx, θz軸偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái),*的承載能力,zui大可承載60kg,偏轉(zhuǎn)角度±0.3mrad。可帶載20kg負(fù)載高頻率使用。產(chǎn)品主要應(yīng)用于大負(fù)載偏擺/旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)驗(yàn),比如模擬空間擾動(dòng)實(shí)驗(yàn)等。

    更新日期:2021-03-23

    N50芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺(tái)的詳細(xì)資料:

    1.芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺(tái)

    特性  

     • θx, θz偏擺/旋轉(zhuǎn),角度位移達(dá)±0.3mrad/軸          • zui大承載達(dá)60kg         • 閉環(huán)定位精度高                 • 外形堅(jiān)固                              • 響應(yīng)速度快

     

    2.芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺(tái)

    外觀形狀  

       產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖  

      閉環(huán)曲線  

     

      大承載、高精度、高頻率  

       頻率負(fù)載曲線  

       驅(qū)動(dòng)測(cè)試實(shí)驗(yàn)  

    N50 θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)是專門為空間擾動(dòng)實(shí)驗(yàn)而設(shè)計(jì)的大承載偏擺系統(tǒng),具有電容閉環(huán)幅值校正功能,可以帶60kg負(fù)載做精密偏轉(zhuǎn),zui大行程為±0.3mrad。

    N50壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)采用有限元分析對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化,具有非常高的剛度,即使其在負(fù)載的情況下仍然可以實(shí) 現(xiàn)高動(dòng)態(tài),zui大頻率可以達(dá)到500Hz。

    可選擇多種傳感器類型,如電容、電感、應(yīng)變計(jì)等。該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于模擬空間擾動(dòng)等實(shí)驗(yàn)中。

    N50大負(fù)載θx, θz二維偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)需要三通道控制器進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控 制,根據(jù)所需使用頻率配套不同功率的壓電控制器。如100~200Hz 使用頻率,我們推薦配套E00/E01系列控制器選擇E05驅(qū)動(dòng)模塊。

     

    3.二維θx, θz向壓電偏擺臺(tái)

    應(yīng)用  

           • 光束掃描  • 圖像處理/穩(wěn)定  • 光學(xué)、激光掃描、通信、光線偏轉(zhuǎn)、干涉/計(jì)量  • 空間擾動(dòng)模擬系統(tǒng)  • 光路調(diào)整  • 掩模與晶片位置調(diào)整  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術(shù)  • 表面結(jié)構(gòu)分析

     

      可定制  

    N50壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)參數(shù)可接受定制。

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