產品名稱：P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad
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產品特點：P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，偏轉鏡具有高的運動精度和穩定性，通過內置高精度傳感器進行閉環控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
更新日期：2022-11-17
P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad是以壓電陶瓷作為驅動元件，內部采用無回差柔性鉸鏈并聯導向結構設計，外部機械結構通過內部多支壓電陶瓷的伸縮來實現單軸或多軸角度偏轉運動，補償量小，偏轉鏡具有高的運動精度和穩定性，通過內置高精度傳感器進行閉環控制，實現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
P34二維θxθy向壓電偏轉鏡 1.5/3/6mrad系列壓電偏轉鏡是專為大直徑鏡片而設計，可加載直徑達80mm的鏡片，它的差分驅動在較大溫度范圍內表現出出色的角度定位穩定性。P34系列偏轉鏡允許頂部平臺在具有共同樞軸點（并聯運動）的兩個正交軸上進行高動態精密偏轉運動，多種鏡片安裝面可選，以獲得對不同鏡片材料的理想熱適應。開環、閉環版本可供選擇，所有版本都具有亞微弧度分辨率，且傾斜角度可達6mrad(等于光束偏轉12mrad)。
特性
• θx,θy二維偏轉，偏轉角度6mrad • 閉環定位精度高 • 分辨率高 • 溫度穩定性高 • 亞毫秒響應時間
| 高穩定性、線性度及動態性、使用壽命長 | 結構原理 | ||
| 芯明天壓電俯仰/偏轉鏡系統是基于平行運動學設計，兩個方向偏轉運動共用同一個移動面。內部四個壓電促動器是成對的差分控制，決定了平臺俯仰/偏轉運動。這使得P34壓電傾斜鏡在較大溫差變化范圍的環境中具有較好的角度定位穩定性。 內部采用芯明天疊堆型壓電促動器可保證可靠性。特殊樹脂絕緣使其可抵抗環境濕度及漏電流故障。所以在可靠性及壽命上遠優于傳統壓電促動器。 | 偏轉鏡（兩軸）是基于4個壓電陶瓷結構設計而成，每軸采用兩個壓電陶瓷，以推拉模式形成偏擺運動，采用橋式連接電路控制。四個執行機構（壓電促動器）以90°角平分放置，是成對的差異控制分布形式。 通過差分結構的設計可以在大范圍的溫度變化下保持良好的角度穩定性，這樣就可以保證溫度的變化僅能影響到平臺的垂直方向定位，而對角度定位則沒有影響，在閉環下，可以保證系統的線性度和分辨率。 | ||
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