P31系統內部裝配帶有預緊力的高可靠性壓電促動器,被集成在成熟的、經過FEA建模分析的鉸鏈導向系統。壓電促動器為疊堆共燒型壓電陶瓷,可提供更好的穩定性及可靠性。 壓電促動器、導向機構及傳感器是免維護的,不易損壞且提供超高的可靠性。先進的鉸鏈/杠桿設計將慣性zui小化,允許25mrad的大角度俯仰/偏轉范圍(可將光束偏轉50mrad),且具有非常快的響應速度,在毫秒級范圍。 除了大偏轉角度及高動態,P31還提供了亞微弧度的分辨率。內部集成高分辨率、全橋的應變傳感器(SGS)實現了的位置控制,具有優異的重復定位精度,通常為滿行程的0.2%。 | 壓電偏轉鏡(兩軸運動)是基于平行運動學設計,具有共面軸及移動面。四個執行機構(壓電促動器)以90°角平分放置,成對的差分控制分布。兩對差分驅動壓電促動器在較大溫度范圍內提供zui高可實現的角度穩定性。它的偏擺運動是由兩對壓電促動器以推拉模式來實現,采用橋式連接電路控制。 |