N12系列壓電掃描臺為1~3維并聯式平移掃描臺,臺體中心方形通孔,內部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構,采用有限元仿真分析優化結構,具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點,平臺內可選擇配置高性能傳感器進行全閉環反饋,實現滿行程0.04%的重復定位精度。 N12.XY二維XY軸壓電掃描臺中心具有通孔,zui大掃描范圍可達110μm,閉環掃描臺精度更高,直線運動無偏航。產品廣泛應用于表面測量、顯微成像等應用領域。 特性 • 二維XY向運動,zui大行程110μm/軸 • zui大承載0.7kg • 臺體中心方形通孔,尺寸為45×45mm • 閉環重復定位精度高 • 開/閉環可選 應用: 晶圓切割•生物顯微•白光干涉• 原子力顯微鏡•差動聚焦檢測系統•顯微光學成像
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