壓電馬達(dá)內(nèi)部仍為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，它分為直線運(yùn)動(dòng)型及角度運(yùn)動(dòng)型，利用粘滑原理，通過壓電陶瓷的快速振動(dòng)，達(dá)到微納米級(jí)的步進(jìn)，總直線運(yùn)動(dòng)行程范圍可達(dá)幾百毫米，角度行程可達(dá)360度。
應(yīng)變傳感器主要用于測(cè)量一個(gè)結(jié)構(gòu)表面的形變，具有非常高的測(cè)量敏感度，可間接進(jìn)行力的測(cè)量，力的過程監(jiān)控等。
特性： · 偏轉(zhuǎn)角度：6°（±3°）θ X θ Y · 分辨率：2.9’’
· 鏡片直徑：12.7m · 中空直徑：9mm
· 外形尺寸：30.5×24m
應(yīng)用： · 微米納米技術(shù) · 生物科技 · 顯微
· 電信 · 計(jì)量、激光系統(tǒng)
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