XP-62系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅動，具有大承載、響應速度快、可靠性高和使用壽命長等優點。內置高 分辨率SGS傳感器進行全閉環運動控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領域。

XP-62系列壓電納米定位臺典型應用

• 掃描顯微    • 半導體技術
• 生物技術    • 微加工/精密控制

XP-62系列壓電納米定位臺特點：

• 1~3維自由組合

• zui大行程68μm

• zui大承載10kg

• 重復定位精度可達0.05%F.S.

• 亞毫秒響應時間

大負載、高剛度、高諧振頻率、高穩定性
XP-62X系列壓電納米定位臺采用壓電陶瓷直驅機 構，優異的柔性鉸鏈設計，具有高剛度、高頻響等特 點，剛度可達40N/μm，空載諧振頻率高達4.2kHz， 適用于需要大負載、高頻率需求的應用，如電化學加 工等。
XP-62X系列壓電平臺內置帶有預緊力的封裝型壓 電陶瓷，平臺采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導向機 構，無磨損、免維護，提供*的穩定性。
該產品易于與其他宏動臺產品集成配套，實現更大 行程的精密定位。

 宏微復合機構

  XP-623.XY二維壓電納米定位臺配套二維宏動臺，應用于精密加工中。

XP-62系列壓電納米定位臺技術參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。