XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm
XP-780系列壓電掃描臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實(shí)現(xiàn)X軸200μm的位移，可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實(shí)現(xiàn)二維、三維運(yùn)動。
產(chǎn)品特點(diǎn)
一維X向運(yùn)動
行程可達(dá)200μm
承載可達(dá)5kg
通孔尺寸：25×25mm
閉環(huán)重復(fù)定位精度高
開/閉環(huán)可選
真空版本可選
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